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ST-102A型探針測試臺

      
   ST-102A型探針測試臺(英文叫Prober station,中文又稱中測臺,點測機。)、
與測試儀器配接后可用于集成電路芯片及各種晶體管芯的電參數測試及功能調試,適用于科研、新品試制及小批量生產的中間測試。

技 術 指 標

工作臺面
 370mm*245mm
載物臺直徑
 4"
放大倍數
 50倍、100倍,固定倍數;
監視方式
 顯微鏡
光學參數
 手輪調焦范圍:60mm;升降調焦范圍:200mm;
精密旋轉臺

 粗調范圍:360°;微調范圍:±10°;最小刻劃:1°;
 銅盤直徑:Φ85mm;絕緣盤直徑:Φ102mm

三維探針座
 探針座X、Y、Z方向調節范圍:±3.25mm,分辨率±2μ;
 三維探針座在工作臺面可任意位置固定,由磁性開關控制;
 最多可布三維探針座6個;
 探針臂伸出長度:60mm;
 探針長度:40mm;
探針
 探針材質硬質合金,針尖曲率半徑2μm;


標準配置
:主工作臺、顯微鏡、承片臺、三維微調架2個、探針臂2支、探針2支。
可選配件:三維微調架、探針臂、探針、真空泵。

可按用戶的實際需求進行訂做。

   
下載ST-102A型探針測試臺產品資料(PDF)  
實例:CV-2000電容電壓特性測試儀搭配ST-102A探針臺應用于半導體分立器件工      藝監測方案
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